此外，未来MEMS技术的系统单片集成化趋势明显。
由于一般传感器的输出信号(电流或电压)很弱，如果将它连接到外部电路，那么寄生电容、电阻等的影响会彻底掩盖有用的信号。因此采用灵敏元件外接处理电路的方法已不可能得到质量很高的传感器，只有把两者集成在一个芯片上，才能具有最好的性能。